Excimer-Laser

Die Anwendungsmöglichkeiten von Licht als Werkzeug erscheinen nahezu unbegrenzt. Sie reichen vom einfachen Laserpointer über Entfernungsmessgeräte, Schneid- und Schweißwerkzeug bis hin zu medizinischen Anwendungen wie dem Laserskalpell oder der Augenheilkunde.

Excimer-Laser gehören zur Gruppe der Gas-Laser. Der Name Excimer leitet sich von „excited dimer“ (angeregte Zweifache) ab. Das laseraktive Medium sind instabile Edelgas-Halogenide.

Die Wellenlänge eines Excimer-Lasers liegt im UV-Bereich zwischen 157 und 351 Nanometer. Sie ist abhängig vom verwendeten Edelgas (Argon, Krypton, Xenon) und der Halogenkomponente (Fluor oder Chlorwasserstoff). Die wichtigsten Anwendungsbereiche sind:

Lithographie zur Herstellung kleinster Strukturen von elektronischen Bauelementen
Augenheilkunde zur Beseitigung von Fehlsichtigkeit (Lasik)
Mikromaterialbearbeitung für die Produktion von Displays und Tintenstrahldrucker
Fotochemie, Spektrometrie in Labor und Forschungseinrichtungen

Hochreine Gase, eine exakte Gemischfertigung mit strenger analytischer Kontrolle sowie unserer langen Erfahrung in diesem Bereich stellen sicher, dass die spezifizierte Leistungsfähigkeit der Excimer-Laser durch unsere Gase erreicht wird.